;
1 | Tekanan kerja maksimum 20.6 Mpa. |
2 | Maks.suhu kerja 204 ℃ (Persekitaran suhu tinggi sehingga 454 ℃, pada masa ini bahan pengedap digantikan dengan grafit berkembang) |
3 | Sistem penapis Bahan pencemar zarah, gas, cecair boleh digunakan. |
4 | Ketepatan penapis penapis serbuk keluli tahan karat metalurgi tersinter 2μm~40μm |
5 | Aliran penapis 1x 10 -6~1×10-2L/min.cm2.pa |
6 | Penapis boleh ditukar. |
Ciri produk Penapis
1 | Julat aplikasi yang luas, julat aliran dari 15 hingga 300SL / min. |
2 | Ia mempunyai keserasian yang baik dengan kebanyakan gas proses semikonduktor ketulenan tinggi. |
3 | 3 kapasiti penapisan nanopartikel mengekalkan kecekapan aliran tinggi dan penurunan tekanan ultra-kecil. |
4 | Permukaan yang digilap 5Ra boleh menghalang pencemaran dalaman. |
5 | Bakar dengan nitrogen panas selepas air ternyahion untuk memenuhi piawaian proses semikonduktor. |
6 | Persekitaran pembuatan, pembersihan dan pembungkusan bengkel aseptik bebas habuk 1000 tahap. |
7 | Uji untuk 100% kebocoran helium. |
Masuk | Outlet | |
1 | 1/8″ pemasangan tiub | 1/8″ pemasangan tiub |
2 | Pemasangan tiub 1/4″ | Pemasangan tiub 1/4″ |
3 | Pemasangan tiub 3/8″ | Pemasangan tiub 3/8″ |
4 | 1/2″ pemasangan tiub | 1/2″ pemasangan tiub |
5 | Pemasangan tiub 6MM | Pemasangan tiub 6MM |
6 | Pemasangan tiub 8MM | Pemasangan tiub 8MM |
7 | Pemasangan tiub 10MM | Pemasangan tiub 10MM |
8 | Pemasangan tiub 12MM | Pemasangan tiub 12MM |
9 | 1/8″ NPT Perempuan | 1/8″ NPT Perempuan |
10 | 1/4″ NPT Perempuan | 1/4″ NPT Perempuan |
11 | 1/4″ NPT Lelaki | 1/4″ NPT Lelaki |
12 | 3/8″ NPT Lelaki | 3/8″ NPT Lelaki |
13 | 1/2″ NPT Lelaki | 1/2″ NPT Lelaki |
Parameter Prestasi Produk Penapis
1 | Ketepatan Penapisan | ≥0.0025μm | |
2 | Kecekapan penapisan | Kadar penyingkiran99.99999%≥0.0025μm | |
3 | Aliran berkadar | 15L/Min | |
4 | 60L/Min | ||
5 | 120L/Min | ||
6 | 200L/Min | ||
7 | 300L/Min | ||
8 | Komposisi penapis | elemen penapis | 316L/PTFE |
9 | perumahan | keluli tahan karat 316L | |
10 | Keadaan kerja | Tekanan masuk maksimum | 21Mpa(310kgf/cm2) |
11 | Tekanan pembezaan maksimum | 15Mpa(153kgf/cm2) | |
12 | Suhu operasi maksimum | 430℃(gas lengai) | |
13 | Kadar kebocoran helium | 1×10-9 atm.cc/sec | |
14 | Kemasan permukaan | ≤Ra 5μin |