Penggunaan gas dalam industri semikonduktor bermula pada awal tahun 1950 -an hingga 1960 -an. Semasa proses pembuatan semikonduktor, gas digunakan terutamanya untuk membersihkan dan melindungi bahan semikonduktor untuk memastikan kesucian dan kualiti mereka. Antara gas yang paling biasa digunakan ialah nitrogen dan hidrogen.
Memandangkan teknologi semikonduktor membangunkan dan proses pembuatan terus bertambah, permintaan untuk gas meningkat. Pada tahun 1970, perkembangan selanjutnya teknologi pembuatan semikonduktor, penggunaan gas dalam proses utama seperti etsa dan pemendapan filem nipis secara beransur -ansur meningkat, dan gas fluorida (misalnya SF6) dan oksigen menjadi gas etsa dan pemendapan yang biasa digunakan. 1980 menyaksikan peningkatan permintaan untuk gas dengan pembangunan litar bersepadu dan peningkatan permintaan bagi mereka. Hidrogen digunakan secara meluas dalam proses pembuatan, termasuk penyepuh hidrogen dan pemendapan wap hidrogen. Dan dari tahun 1990 hingga sekarang, permintaan untuk gas kesucian tinggi dan gas tertentu telah meningkat apabila saiz peranti semikonduktor terus mengecut dan proses baru telah diperkenalkan. Sebagai contoh, penggunaan litografi ultraviolet yang melampau (EUV) memerlukan penggunaan gas yang sangat tinggi seperti nitrogen dan hidrogen.
Gas semikonduktor terus meningkat dengan perkembangan produk berkaitan yang didorong oleh lebih banyak produk yang diturunkan, sementara gas juga tergolong dalam sumber bahaya, jadi produk yang digunakan untuk penyahmampatan gas, produk pengesanan gas dan menghalang produk kebocoran gas telah muncul seperti pengawal selia tekanan, injap gas, ukur tekanan gas,
Pengawal selia tekanan: Pengawal selia tekanan adalah peranti yang digunakan untuk mengawal tekanan gas. Mereka biasanya terdiri daripada injap pengawal selia dan sensor tekanan. Pengawal selia tekanan mengambil input gas tekanan tinggi dan menstabilkan tekanan gas output dengan menyesuaikan injap untuk memenuhi keperluan aplikasi tertentu. Pengawal selia tekanan digunakan secara meluas dalam bidang seperti industri, pembuatan dan makmal, serta dalam industri semikonduktor, antara lain, untuk memastikan kestabilan dan keselamatan bekalan gas.
Injap gas: Injap gas digunakan untuk mengawal aliran gas dan menutup laluan gas. Mereka biasanya mempunyai fungsi hidup/mati yang membuka atau menutup aliran gas. Terdapat pelbagai jenis injap gas, termasuk injap manual, injap elektrik dan injap pneumatik. Ia digunakan secara meluas dalam sistem gas untuk mengawal aliran, tekanan dan kadar aliran gas.
Tolok tekanan gas: Tolok tekanan gas digunakan untuk mengukur tahap tekanan gas. Mereka biasanya dipasang di lokasi kritikal dalam sistem gas untuk memantau perubahan tekanan dan memastikan bahawa mereka berada dalam had yang selamat. Tolok tekanan gas digunakan secara meluas dalam industri, pembuatan dan makmal, dan industri semikonduktor juga terlibat.
Pengesan kebocoran gas: Pengesan kebocoran gas digunakan untuk mengesan kebocoran dalam sistem gas. Mereka mengesanKehadiran kebocoran gas dan bunyi penggera supaya tindakan tepat pada masanya dapat diambil untuk mencegah kemalangan kebocoran. Pengesan kebocoran gas digunakan secara meluas dalam aplikasi perindustrian, kimia, minyak dan gas, dan industri semikonduktor juga terlibat.
Masa Post: Feb-20-2024