Proses pengeluaran gas khusus elektronik termasuk beberapa proses seperti sintesis, pembersihan, pengisian, analisis dan ujian, pencampuran dan perkadaran. Untuk memenuhi keperluan pembuatan semikonduktor hiliran untuk kandungan kesucian dan kekotoran, proses penyucian sangat penting. Bergantung kepada komposisi gas sintesis hulu atau gas mentah, penyulingan suhu rendah atau pembersihan pelbagai peringkat dilakukan.
Keperluan kebersihan yang tinggi
Proses penyediaan gas khas elektronik boleh dibahagikan kepada dua blok utama penyediaan dan penyucian sintesis hulu, yang tergolong dalam proses pengeluaran kimia. Saiz saluran paip pengeluaran adalah besar, dan tidak ada keperluan tahap kebersihan khas. Selepas pembersihan hiliran, produk itu dipenuhi dengan gas dan dicampur untuk penyediaan. Paip pengeluaran adalah kecil dan mempunyai keperluan tahap kebersihan. Ia perlu memenuhi spesifikasi standard proses pembuatan semikonduktor.
Keperluan pengedap yang tinggi
Oleh kerana aktiviti kimia mereka, gas khusus elektronik juga meletakkan permintaan yang tinggi terhadap bahan dan pengedap sistem proses pengeluaran. Sama seperti keperluan pembuatan semikonduktor, ia menghalang kebocoran antara muka yang disebabkan oleh pengenalan kekotoran atau kakisan gas khas. Sistem ini juga boleh digunakan untuk mencegah pengenalan kekotoran atau kebocoran antara muka yang disebabkan oleh kakisan gas khas.
Keperluan Kestabilan Berkualiti Tinggi
Kualiti gas khusus elektronik termasuk beberapa petunjuk seperti kandungan zarah kesucian dan kekotoran. Sebarang perubahan dalam penunjuk akan menjejaskan hasil proses pembuatan semikonduktor hiliran. Oleh itu, untuk memastikan konsistensi penunjuk produk gas khas elektronik, sistem proses penyediaan untuk mengawal kestabilan penunjuk juga sangat penting.
Oleh kerana aktiviti kimia dan keperluan kualiti EGP, sistem pengeluaran untuk penyediaan EGP, terutamanya sistem pembersihan hiliran, mesti memenuhi keperluan bahan kesucian yang tinggi, pengedap yang tinggi, kebersihan yang tinggi dan konsistensi berkualiti tinggi, dan pembinaan komponen kejuruteraan mesti memenuhi piawaian industri pembuatan semikonduktor.
Apa yang biasa kita rujuk sebagai "kesucian tinggi" adalah secara teorinya definisi kesucian bahan, seperti gas kesucian yang tinggi, bahan kimia kesucian yang tinggi, dan lain-lain. Sistem penyediaan gas khusus elektronik memerlukan kelengkapan aplikasi kemurnian, injap, dan komponen cecair lain, iaitu, kelengkapan dan injap yang diproses dengan bahan kesucian yang tinggi dan proses pembuatan bersih, dan berstruktur untuk pembersihan dan pembersihan yang mudah. Dengan prestasi pengedap yang tinggi. Komponen bendalir ini direka untuk memenuhi laluan aliran proses aplikasi, menggunakan keperluan kejuruteraan dan pembinaan industri semikonduktor.
Sambungan paip kesucian tinggi
VCR Metal Gasket Face Seal Connections and Automatic Guide Butt Weld Connections digunakan secara meluas dalam menuntut keperluan proses kesucian sistem bendalir kerana keupayaan untuk memenuhi kedua -dua peralihan lancar laluan aliran pada sambungan, tiada zon stagnasi, dan prestasi pengedap yang tinggi. Sambungan yang berulang dan konsisten dan prestasi pengedap dijamin setiap kali gasket cacat dikeluarkan dan diganti.
Tiub dikimpal menggunakan sistem kimpalan orbital automatik. Tiub ini dilindungi oleh gas kesucian yang tinggi di dalam dan luar. Elektrod tungsten berputar di sepanjang orbit untuk kimpalan berkualiti tinggi. Kimpalan orbital sepenuhnya automatik mencairkan paip tanpa memperkenalkan bahan-bahan lain, mencapai kimpalan berkualiti tinggi dengan mengendalikan paip berdinding nipis berulang kali sukar dicapai dengan kimpalan manual.
Sambungan meterai gasket logam VCR
Sambungan kimpalan pantat orbital automatik
Injap kesucian yang tinggi
Aktiviti kimia gas khusus yang mudah terbakar, letupan, menghakis, dan toksik elektronik meletakkan permintaan yang tinggi pada pengedap injap. Untuk meningkatkan kebolehpercayaan pengedap, keperluan injap tanpa pembungkusan untuk mencegah kebocoran luaran, iaitu, beralih operasi batang injap dan badan injap antara meterai menggunakan belos logam atau diafragma logam, untuk menghapuskan kebocoran kerana lelasan dan pembungkusan meterai meterai. Injap-injap yang dimeteraikan dan diafragma biasanya digunakan dalam sistem proses untuk aplikasi kesakitan yang tinggi kerana kebolehpercayaan yang lebih besar dari meterai dan penggantian pembersihan dan pembersihan yang lebih mudah dari dalaman injap.
Injap-injap yang dimakan adalah pembinaan injap jarum tanpa pembungkusan yang membolehkan peraturan pembukaan dan aliran perlahan. Digunakan untuk pengisian gas khusus elektronik dengan keperluan aliran keselamatan atau pada botol sumber prekursor dengan keperluan keselamatan yang tinggi. Meterai hujung batang tanah membolehkan suhu operasi yang sangat rendah dan digunakan untuk pencairan kriogenik gas khusus elektronik dalam tangki produk siap selepas penyulingan kriogenik untuk paip.
Injap meterai diafragma tanpa injap adalah injap 1/4 "snap-open untuk digunakan sebagai injap pensuisan yang dikawal secara automatik dalam paip penghantaran. Mereka biasanya digunakan dalam aplikasi ultra tinggi, aplikasi kemelut yang tinggi kerana laluan aliran dalaman mereka yang mudah, jumlah dalaman yang kecil, dan kemudahan pembersihan dan penggantian.
Injap-injap diafragma yang ditutup melalui hujung batang boleh dibuka perlahan-lahan dan digunakan pada tekanan operasi yang lebih tinggi daripada injap diafragma yang tidak sprung. Mereka digunakan secara meluas pada pengisian gas khusus elektronik tekanan tinggi atau botol sumber prekursor.
Injap Bellows Seal Secondary tidak hanya boleh digunakan dalam sistem proses suhu ultra -rendah pada -200 darjah, tetapi juga menghalang kebocoran media berbahaya ke atmosfera. Biasanya digunakan untuk gas khas elektronik yang sangat berbahaya, seperti sistem pengisian silane.
Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, dengan lebih dari 10 tahun pengalaman dalam membekalkan gas perindustrian dan khusus, bahan, sistem bekalan gas dan kejuruteraan gas untuk pasaran semikonduktor, LED, DRAM, TFT-LCD, kami dapat memberikan anda bahan-bahan yang diperlukan untuk mendorong produk anda ke barisan hadapan industri. Kami bukan sahaja dapat membekalkan pelbagai injap dan kelengkapan untuk gas khusus elektronik separa konduktor, tetapi kami juga boleh merancang paip gas dan pemasangan peralatan untuk pelanggan kami. Jika anda mempunyai sebarang keperluan di kawasan ini, sila hubungi kami di 27919860.
Masa Post: Jul-19-2023