Teknologi paip gas ketulenan tinggi adalah bahagian penting dalam sistem bekalan gas ketulenan tinggi, yang merupakan teknologi utama untuk menyampaikan gas ketulenan tinggi yang diperlukan ke peringkat penggunaan dan masih mengekalkan kualiti yang layak;Teknologi paip gas ketulenan tinggi termasuk reka bentuk sistem yang betul, pemilihan kelengkapan dan aksesori, pembinaan dan pemasangan serta ujian.Dalam beberapa tahun kebelakangan ini, keperluan yang semakin ketat terhadap kandungan ketulenan dan kekotoran gas ketulenan tinggi dalam pengeluaran produk mikroelektronik yang diwakili oleh litar bersepadu berskala besar telah menjadikan teknologi paip gas ketulenan tinggi semakin prihatin dan ditekankan.Berikut ialah gambaran ringkas mengenai paip gas ketulenan tinggi daripada pemilihan bahanof pembinaan, serta penerimaan dan pengurusan harian.
Jenis-jenis gas biasa
Pengelasan gas biasa dalam industri elektronik：
Gas biasa（Gas pukal）: hidrogen (H2), nitrogen (N2), oksigen (O2), argon (A2), dan lain-lain.
Gas khususadalah SiH4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCL,CF4 ,NH3,POCL3, SIH2CL2 SIHCL3,NH3, BCL3 ,SIF4 ,CLF3 ,CO,C2F6, N2O,F2,HF,HBR SF6…… dan lain-lain.
Jenis-jenis gas khas secara amnya boleh dikelaskan sebagai menghakisgas, toksikgas, mudah terbakargas, mudah terbakargas, lengaigas, dsb. Gas semikonduktor yang biasa digunakan secara amnya dikelaskan seperti berikut.
(i) Menghakis / toksikgas: HCl , BF3, WF6, HBr , SiH2Cl2, NH3, PH3, Cl2, BCl3…dan lain-lain.
(ii) Kemudahbakarangas: H2, CH4, SiH4, PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2,CH3F, CO…dsb.
(iii) mudah terbakargas: O2, Cl2, N2O, NF3… dan lain-lain.
(iv) Lengaigas: N2, CF4, C2F6, C4F8,SF6, CO2, Ne, Kr, He…dsb.
Banyak gas semikonduktor berbahaya kepada tubuh manusia.Khususnya, beberapa gas ini, seperti SiH4 pembakaran spontan, selagi kebocoran akan bertindak balas dengan kuat dengan oksigen di udara dan mula terbakar;dan ASH3sangat toksik, sebarang kebocoran sedikit boleh menyebabkan risiko nyawa manusia, ia adalah kerana bahaya yang jelas ini, jadi keperluan untuk keselamatan reka bentuk sistem adalah sangat tinggi.
Skop penggunaan gas
Sebagai bahan mentah asas yang penting dalam industri moden, produk gas digunakan secara meluas, dan sejumlah besar gas biasa atau gas khas digunakan dalam metalurgi, keluli, petroleum, industri kimia, mesin, elektronik, kaca, seramik, bahan binaan, pembinaan. , pemprosesan makanan, perubatan dan sektor perubatan.Penggunaan gas mempunyai kesan penting terhadap teknologi tinggi bidang ini khususnya, dan merupakan gas bahan mentah atau gas proses yang sangat diperlukan.Hanya dengan keperluan dan promosi pelbagai sektor perindustrian baharu serta sains dan teknologi moden, produk industri gas boleh dibangunkan dengan pesat dari segi kepelbagaian, kualiti dan kuantiti.
Aplikasi gas dalam industri mikroelektronik dan semikonduktor
Penggunaan gas sentiasa memainkan peranan penting dalam proses semikonduktor, terutamanya proses semikonduktor telah digunakan secara meluas dalam pelbagai industri, daripada ULSI tradisional, TFT-LCD kepada industri mikro-elektro-mekanikal (MEMS), kesemuanya yang menggunakan proses semikonduktor yang dipanggil sebagai proses pembuatan produk.Ketulenan gas mempunyai kesan tegas terhadap prestasi komponen dan hasil produk, dan keselamatan bekalan gas adalah berkaitan dengan kesihatan kakitangan dan keselamatan operasi loji.
Kepentingan paip ketulenan tinggi dalam pengangkutan gas ketulenan tinggi
Dalam proses peleburan dan pembuatan keluli tahan karat, kira-kira 200g gas boleh diserap setiap tan.Selepas pemprosesan keluli tahan karat, bukan sahaja permukaannya melekit dengan pelbagai bahan cemar, tetapi juga dalam kekisi logamnya juga menyerap sejumlah gas.Apabila terdapat aliran udara melalui saluran paip, logam menyerap bahagian gas ini akan memasuki semula aliran udara, mencemarkan gas tulen.Apabila aliran udara dalam tiub adalah aliran tidak berterusan, tiub menyerap gas di bawah tekanan, dan apabila aliran udara berhenti berlalu, gas yang diserap oleh tiub membentuk penurunan tekanan untuk menyelesaikan, dan gas yang diselesaikan juga memasuki gas tulen dalam tiub sebagai kekotoran.Pada masa yang sama, penjerapan dan resolusi diulang, supaya logam pada permukaan dalaman tiub juga menghasilkan sejumlah serbuk, dan zarah habuk logam ini juga mencemarkan gas tulen di dalam tiub.Ciri tiub ini penting untuk memastikan ketulenan gas yang diangkut, yang memerlukan bukan sahaja kelancaran permukaan dalaman tiub yang sangat tinggi, tetapi juga rintangan haus yang tinggi.
Apabila gas dengan prestasi menghakis yang kuat digunakan, paip keluli tahan karat tahan karat mesti digunakan untuk paip.Jika tidak, paip akan menghasilkan bintik-bintik kakisan pada permukaan dalam akibat kakisan, dan dalam kes-kes yang serius, akan terdapat kawasan besar pelucutan logam atau bahkan penembusan, yang akan mencemarkan gas tulen yang akan diedarkan.
Sambungan saluran paip penghantaran dan pengedaran gas ketulenan tinggi dan kebersihan tinggi dengan kadar aliran yang besar.
Pada dasarnya, kesemuanya dikimpal, dan tiub yang digunakan dikehendaki tidak mempunyai perubahan dalam organisasi apabila kimpalan digunakan.Bahan dengan kandungan karbon yang terlalu tinggi tertakluk kepada kebolehtelapan udara bahagian yang dikimpal semasa mengimpal, yang menjadikan penembusan gas bersama di dalam dan di luar paip dan memusnahkan ketulenan, kekeringan dan kebersihan gas yang dihantar, mengakibatkan kehilangan segala usaha kita.
Ringkasnya, untuk saluran paip penghantaran gas ketulenan tinggi dan gas khas, perlu menggunakan rawatan khas paip keluli tahan karat ketulenan tinggi, untuk membuat sistem saluran paip ketulenan tinggi (termasuk paip, kelengkapan, injap, VMB, VMP) dalam pengedaran gas ketulenan tinggi menduduki misi penting.
Konsep umum teknologi bersih untuk saluran paip penghantaran dan pengedaran
Penghantaran badan gas yang sangat tulen dan bersih dengan perpaipan bermakna terdapat keperluan atau kawalan tertentu untuk tiga aspek gas yang akan diangkut.
Ketulenan gas: Kandungan atmosfera kekotoran dalam ketulenan gGas: Kandungan atmosfera kekotoran dalam gas, biasanya dinyatakan sebagai peratusan ketulenan gas, seperti 99.9999%, juga dinyatakan sebagai nisbah isipadu kandungan atmosfera kekotoran ppm, ppb, ppt.
Kekeringan: jumlah surih lembapan dalam gas, atau jumlah yang dipanggil kebasahan, biasanya dinyatakan dari segi takat embun, seperti takat embun tekanan atmosfera -70.C.
Kebersihan: bilangan zarah pencemar yang terkandung dalam gas, saiz zarah µm, berapa banyak zarah/M3 untuk dinyatakan, untuk udara termampat, biasanya juga dinyatakan dari segi berapa mg/m3 sisa pepejal yang tidak dapat dielakkan, yang meliputi kandungan minyak .
Klasifikasi saiz pencemar: zarah pencemar, terutamanya merujuk kepada penyentalan saluran paip, haus, kakisan yang dihasilkan oleh zarah logam, zarah jelaga atmosfera, serta mikroorganisma, fag dan titisan pemeluwapan gas yang mengandungi lembapan, dsb., mengikut saiz saiz zarahnya dibahagikan kepada
a) Zarah besar – saiz zarah melebihi 5μm
b) Zarah – diameter bahan antara 0.1μm-5μm
c) Zarah ultra mikro – saiz zarah kurang daripada 0.1μm.
Untuk meningkatkan aplikasi teknologi ini, untuk dapat memahami persepsi saiz zarah dan unit μm, satu set status zarah khusus disediakan untuk rujukan
Berikut ialah perbandingan zarah tertentu
| Nama /Saiz zarah (µm) | Nama /Saiz zarah (µm) | Nama/ Saiz zarah (µm) |
| Virus 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Titisan mikro aerosol 1-12 |
| Bahan api nuklear 0.01-0.1 | Cat 0.1-6 | Abu terbang 1-200 |
| Karbon hitam 0.01-0.3 | Susu tepung 0.1-10 | Racun perosak 5-10 |
| Resin 0.01-1 | Bakteria 0.3-30 | Habuk simen 5-100 |
| Asap rokok 0.01-1 | Debu pasir 0.5-5 | Debunga 10-15 |
| Silikon 0.02-0.1 | Racun perosak 0.5-10 | Rambut manusia 50-120 |
| Garam terhablur 0.03-0.5 | Debu sulfur pekat 1-11 | Pasir laut 100-1200 |
Masa siaran: Jun-14-2022