Teknologi paip gas kemelarasan tinggi merupakan bahagian penting dalam sistem bekalan gas kemelut tinggi, yang merupakan teknologi utama untuk menyampaikan gas kesucian tinggi yang diperlukan ke titik penggunaan dan masih mengekalkan kualiti yang berkelayakan; Teknologi paip gas kemelut tinggi termasuk reka bentuk sistem yang betul, pemilihan kelengkapan dan aksesori, pembinaan dan pemasangan, dan ujian. Dalam tahun-tahun kebelakangan ini, keperluan yang semakin ketat terhadap kandungan kesucian dan kekotoran gas-gas kesucian tinggi dalam pengeluaran produk mikroelektronik yang diwakili oleh litar bersepadu berskala besar telah menjadikan teknologi paip gas-gas kemuliaan tinggi semakin prihatin dan ditekankan. Berikut adalah gambaran ringkas mengenai paip gas kemelut tinggi dari pemilihan bahanof Pembinaan, serta penerimaan dan pengurusan harian.
Jenis gas biasa
Klasifikasi Gas Biasa dalam Industri Elektronik：
Gas biasa（Gas pukal）: Hidrogen (h2), nitrogen (n2), oksigen (o2), argon (a2), dll.
Gas khususadalah sih4 ,PH3 ,B2H6 ,A8H3 ,CL ,HCl,CF4 ,NH3,Pocl3, Sih2cl2 SIHCL3,NH3, Bcl3 ,Sif4 ,Clf3 ,Co,C2F6, N2o,F2,Hf,HBr SF6…… dll.
Jenis gas khas secara amnya boleh diklasifikasikan sebagai menghakisgas, toksikgas, mudah terbakargas, mudah terbakargas, lengaigas, dan sebagainya. Gas semikonduktor yang biasa digunakan secara umumnya diklasifikasikan seperti berikut.
(i) menghakis / toksikgas: HCl, bf3, Wf6, Hbr, sih2Cl2, Nh3, Ph3, Cl2, Bcl3... dll.
(ii) Mudah terbakargas: H2, Ch4, Sih4, Ph3, Ash3, Sih2Cl2, B2H6, CH2F2,Ch3F, co ... dll.
(iii) kebolehangas: O2, Cl2, N2O, nf3... dll.
(iv) lengaigas: N2, Cf4, C2F6, C4F8,Sf6, Co2, Ne, kr, dia ... dan lain -lain.
Banyak gas semikonduktor berbahaya kepada tubuh manusia. Khususnya, beberapa gas ini, seperti SIH4 Pembakaran spontan, selagi kebocoran akan bertindak balas dengan ganas dengan oksigen di udara dan mula terbakar; dan abu3Sangat toksik, apa -apa kebocoran sedikit boleh menyebabkan risiko kehidupan manusia, ia adalah kerana bahaya yang jelas ini, jadi keperluan untuk keselamatan reka bentuk sistem sangat tinggi.
Skop permohonan gas
Sebagai bahan mentah asas penting industri moden, produk gas digunakan secara meluas, dan sejumlah besar gas biasa atau gas khas digunakan dalam metalurgi, keluli, petroleum, industri kimia, jentera, elektronik, kaca, seramik, bahan binaan, pembinaan, pemprosesan makanan, perubatan dan sektor perubatan. Penggunaan gas mempunyai kesan penting terhadap teknologi tinggi bidang ini khususnya, dan merupakan gas bahan mentah yang sangat diperlukan atau gas proses. Hanya dengan keperluan dan promosi pelbagai sektor perindustrian baru dan sains dan teknologi moden, produk industri gas dapat dibangunkan dengan pesat dari segi kepelbagaian, kualiti dan kuantiti.
Aplikasi Gas dalam Industri Mikroelektronik dan Semikonduktor
Penggunaan gas sentiasa memainkan peranan penting dalam proses semikonduktor, terutamanya proses semikonduktor telah digunakan secara meluas dalam pelbagai industri, dari ULSI tradisional, TFT-LCD ke industri mikro-mekanikal (MEMS) semasa, yang semuanya menggunakan proses semikonduktor yang dipanggil sebagai proses pembuatan produk. Kesucian gas mempunyai kesan tegas terhadap prestasi komponen dan hasil produk, dan keselamatan bekalan gas berkaitan dengan kesihatan kakitangan dan keselamatan operasi loji.
Kepentingan paip kemelut tinggi dalam pengangkutan gas kemelut tinggi
Dalam proses pencairan keluli tahan karat dan membuat bahan, kira -kira 200g gas boleh diserap setiap tan. Selepas pemprosesan keluli tahan karat, bukan sahaja permukaannya melekit dengan pelbagai bahan pencemar, tetapi juga dalam kekisi logamnya juga menyerap sejumlah gas. Apabila terdapat aliran udara melalui saluran paip, logam menyerap bahagian gas ini akan memasuki semula aliran udara, mencemarkan gas tulen. Apabila aliran udara di dalam tiub adalah aliran tidak berterusan, tiub menyerap gas di bawah tekanan, dan apabila aliran udara berhenti berlalu, gas yang terserap oleh tiub membentuk penurunan tekanan untuk diselesaikan, dan gas yang diselesaikan juga memasuki gas tulen dalam tiub sebagai impuriti. Pada masa yang sama, penjerapan dan resolusi diulang, supaya logam pada permukaan dalaman tiub juga menghasilkan sejumlah serbuk tertentu, dan zarah debu logam ini juga mencemarkan gas tulen di dalam tiub. Ciri -ciri tiub ini adalah penting untuk memastikan kesucian gas yang diangkut, yang memerlukan bukan sahaja kelancaran yang sangat tinggi dari permukaan dalaman tiub, tetapi juga rintangan haus yang tinggi.
Apabila gas dengan prestasi menghakis yang kuat digunakan, paip keluli tahan karat tahan karat mesti digunakan untuk paip. Jika tidak, paip akan menghasilkan bintik -bintik kakisan di permukaan dalaman akibat kakisan, dan dalam kes -kes yang serius, akan ada kawasan besar pelucutan logam atau bahkan perforasi, yang akan mencemarkan gas tulen untuk diedarkan.
Sambungan penularan gas dan pengedaran gas yang tinggi dan tinggi dan pengedaran kadar aliran besar.
Pada dasarnya, semuanya dikimpal, dan tiub yang digunakan tidak diperlukan untuk tidak mempunyai perubahan dalam organisasi apabila kimpalan digunakan. Bahan -bahan yang terlalu tinggi kandungan karbon adalah tertakluk kepada kebolehtelapan udara bahagian yang dikimpal apabila kimpalan, yang menjadikan penembusan gas bersama di dalam dan di luar paip dan memusnahkan kesucian, kekeringan dan kebersihan gas yang dihantar, mengakibatkan kehilangan semua usaha kami.
Ringkasnya, untuk saluran paip penghantaran gas dan gas khas yang tinggi, perlu menggunakan rawatan khas paip keluli tahan karat yang tinggi, untuk membuat sistem saluran paip kemelut tinggi (termasuk paip, kelengkapan, injap, VMB, VMP) dalam pengedaran gas berturut-turut tinggi menduduki misi penting.
Konsep umum teknologi bersih untuk saluran paip penghantaran dan pengedaran
Penghantaran badan gas yang sangat murni dan bersih dengan paip bermakna terdapat keperluan atau kawalan tertentu untuk tiga aspek gas yang akan diangkut.
Kesucian gas: kandungan suasana kekotoran dalam kesucian GGA: kandungan suasana kekotoran dalam gas, biasanya dinyatakan sebagai peratusan kesucian gas, seperti 99.9999%, juga dinyatakan sebagai nisbah isipadu kandungan atmosfera PPM, PPB, PPT.
KERETA: Jumlah kelembapan jejak dalam gas, atau jumlah yang dipanggil basah, biasanya dinyatakan dari segi titik embun, seperti titik embun tekanan atmosfera -70. C.
Kebersihan: Bilangan zarah pencemar yang terkandung dalam gas, saiz zarah μm, berapa banyak zarah/m3 untuk menyatakan, untuk udara termampat, biasanya juga dinyatakan dari segi berapa mg/m3 sisa pepejal yang tidak dapat dielakkan, yang meliputi kandungan minyak.
Klasifikasi saiz pencemar: zarah pencemar, terutamanya merujuk kepada saluran paip, memakai, kakisan yang dihasilkan oleh zarah logam, zarah-zarah jelaga atmosfera, serta mikroorganisma, phages dan kelembapan yang mengandungi penetasan gas, dan lain-lain, mengikut saiz zarahnya dibahagikan kepada saiznya dibahagikan kepada
a) zarah besar - saiz zarah melebihi 5μm
b) Zarah-Diameter bahan antara 0.1μm-5μm
c) zarah ultra-mikro-saiz zarah kurang daripada 0.1μm.
Untuk meningkatkan penerapan teknologi ini, untuk dapat memahami persepsi saiz zarah dan unit μm, satu set status zarah tertentu disediakan untuk rujukan
Berikut adalah perbandingan zarah tertentu
| Nama /Saiz Partikel (μm) | Nama /Saiz Partikel (μm) | Nama/ Saiz Partikel (μm) |
| Virus 0.003-0.0 | Aerosol 0.03-1 | Aerosolized Microdroplet 1-12 |
| Bahan api nuklear 0.01-0.1 | Cat 0.1-6 | Fly Ash 1-200 |
| Karbon hitam 0.01-0.3 | Serbuk susu 0.1-10 | Racun perosak 5-10 |
| Resin 0.01-1 | Bakteria 0.3-30 | Debu simen 5-100 |
| Asap rokok 0.01-1 | Debu pasir 0.5-5 | Pollen 10-15 |
| Silikon 0.02-0.1 | Racun perosak 0.5-10 | Rambut Manusia 50-120 |
| Garam kristal 0.03-0.5 | Habuk sulfur pekat 1-11 | Laut pasir 100-1200 |
Masa Post: Jun-14-2022