Dalam fabrikasi semikonduktor, gas melakukan semua kerja dan laser mendapat perhatian. Walaupun laser melakukan corak transistor etch ke dalam silikon, etch yang pertama mendepositkan silikon dan memecah laser untuk membuat litar lengkap adalah satu siri gas. Tidak menghairankan bahawa gas-gas ini, yang digunakan untuk membangunkan mikropemproses melalui proses pelbagai peringkat, adalah kesucian yang tinggi. Sebagai tambahan kepada batasan ini, banyak daripada mereka mempunyai kebimbangan dan batasan lain. Sesetengah gas adalah kriogenik, yang lain menghakis, dan yang lainnya sangat toksik.
Secara keseluruhannya, batasan -batasan ini menjadikan sistem pengedaran gas pembuatan untuk industri semikonduktor sebagai cabaran yang besar. Spesifikasi bahan menuntut. Sebagai tambahan kepada spesifikasi bahan, pelbagai pengedaran gas adalah pelbagai elektromekanik sistem yang saling berkaitan. Persekitaran di mana mereka dipasang adalah kompleks dan bertindih. Fabrikasi akhir berlaku di tapak sebagai sebahagian daripada proses pemasangan. Kimpalan orbital membantu memenuhi keperluan pengedaran gas spesifikasi yang tinggi semasa membuat fabrikasi dalam persekitaran yang ketat dan mencabar lebih mudah diurus.
Bagaimana gas digunakan dalam industri semikonduktor
Sebelum cuba merancang pembuatan sistem pengedaran gas, perlu memahami sekurang -kurangnya asas -asas pembuatan semikonduktor. Pada terasnya, semikonduktor menggunakan gas untuk mendepositkan pepejal hampir elemen di permukaan dengan cara yang sangat terkawal. Pepejal yang disimpan ini kemudian diubahsuai dengan memperkenalkan gas tambahan, laser, etchants kimia, dan haba. Langkah -langkah dalam proses yang luas adalah:
Pemendapan: Ini adalah proses mewujudkan wafer silikon awal. Gas prekursor silikon dipam ke dalam ruang pemendapan vakum dan membentuk wafer silikon nipis melalui interaksi kimia atau fizikal.
Photolithography: Bahagian foto merujuk kepada laser. Dalam spektrum litografi ultraviolet yang melampau (EUV) yang lebih tinggi yang digunakan untuk membuat cip spesifikasi tertinggi, laser karbon dioksida digunakan untuk mengetuk litar mikropemproses ke dalam wafer.
Etching: Semasa proses etsa, gas halogen-karbon dipam ke dalam ruang untuk mengaktifkan dan membubarkan bahan terpilih dalam substrat silikon. Proses ini berkesan mengukir litar cetak laser ke substrat.
Doping: Ini adalah langkah tambahan yang mengubah kekonduksian permukaan terukir untuk menentukan keadaan yang tepat di mana semikonduktor menjalankan.
Annealing: Dalam proses ini, reaksi antara lapisan wafer dicetuskan oleh tekanan dan suhu yang tinggi. Pada asasnya, ia memuktamadkan hasil proses sebelumnya dan mewujudkan pemproses yang dimuktamadkan di wafer.
Dewan dan Pembersihan Line: Gas yang digunakan dalam langkah -langkah sebelumnya, terutamanya etsa dan doping, sering sangat toksik dan reaktif. Oleh itu, ruang proses dan garisan gas yang memakannya perlu diisi dengan meneutralkan gas untuk mengurangkan atau menghapuskan tindak balas yang berbahaya, dan kemudian diisi dengan gas lengai untuk mencegah pencerobohan mana -mana gas yang mencemarkan dari persekitaran luar.
Sistem pengedaran gas dalam industri semikonduktor sering kompleks kerana banyak gas yang terlibat dan kawalan ketat aliran gas, suhu dan tekanan yang mesti dikekalkan dari masa ke masa. Ini semakin rumit oleh kesucian ultra tinggi yang diperlukan untuk setiap gas dalam proses. Gas -gas yang digunakan pada langkah sebelumnya mesti dibuang dari garisan dan ruang atau sebaliknya dinetralkan sebelum langkah seterusnya proses dapat dimulakan. Ini bermakna terdapat sejumlah besar garisan khusus, antara muka antara sistem tiub dan hos yang dikimpal, antara muka antara hos dan tiub dan pengawal selia gas dan sensor, serta antara muka antara semua komponen dan injap yang disebutkan sebelumnya dan sistem pengedap yang direka untuk mencegah pencemaran paip dari bekalan gas asli dari bekalan gas asli.
Di samping itu, gas luaran dan gas khusus akan dilengkapi dengan sistem bekalan gas pukal di persekitaran bilik bersih dan kawasan terkurung khusus untuk mengurangkan sebarang bahaya sekiranya kebocoran tidak sengaja. Kimpalan sistem gas ini dalam persekitaran yang kompleks bukanlah tugas yang mudah. Walau bagaimanapun, dengan berhati -hati, perhatian terhadap perincian dan peralatan yang betul, tugas ini dapat dicapai dengan jayanya.
Sistem Pengedaran Gas Pembuatan dalam Industri Semikonduktor
Bahan yang digunakan dalam sistem pengedaran gas semikonduktor sangat berubah -ubah. Mereka boleh memasukkan perkara-perkara seperti paip logam dan hos yang dipenuhi PTFE untuk menahan gas yang sangat menghakis. Bahan yang paling biasa digunakan untuk paip tujuan umum dalam industri semikonduktor adalah 316L keluli tahan karat - varian keluli tahan karat karbon rendah. Ketika datang ke 316L berbanding 316, 316L lebih tahan terhadap kakisan intergranular. Ini adalah pertimbangan penting apabila berurusan dengan pelbagai gas yang sangat reaktif dan berpotensi tidak menentu yang boleh menghancurkan karbon. Kimpalan 316L Keluli tahan karat mengeluarkan kurang precipitates karbon. Ia juga mengurangkan potensi hakisan sempadan bijian, yang boleh menyebabkan kakisan dalam kimpalan dan zon terjejas haba.
Untuk mengurangkan kemungkinan kakisan paip yang membawa kepada kakisan dan pencemaran produk, keluli tahan karat 316L yang dikimpal dengan gas argon tulen dan gas tungsten yang dilindungi kimpalan adalah standard dalam industri semikonduktor. Satu -satunya proses kimpalan yang menyediakan kawalan yang diperlukan untuk mengekalkan persekitaran kesucian yang tinggi dalam paip proses. Kimpalan orbital automatik hanya menyediakan kawalan proses berulang yang diperlukan untuk melengkapkan kimpalan dalam fabrikasi sistem pengedaran gas semikonduktor. Hakikat bahawa kepala kimpalan orbital yang dilampirkan dapat menampung ruang yang penuh sesak dan sukar di persimpangan kompleks antara kawasan proses adalah kelebihan yang signifikan dari proses tersebut.
Shenzhen Wofei Technology Co., Ltd, dengan lebih dari 10 tahun pengalaman dalam pembekalan gas industri dan khusus, bahan, sistem bekalan gas dan kejuruteraan gas untuk pasaran semikonduktor, LED, DRAM, dan TFT-LCD, kami dapat memberikan anda bahan-bahan yang diperlukan untuk membawa produk anda ke barisan hadapan industri. Kami bukan sahaja dapat menyediakan pelbagai injap dan kelengkapan untuk gas khusus elektronik separa konduktor, tetapi juga reka bentuk paip gas dan pemasangan peralatan untuk pelanggan kami.
Masa Post: Jul-31-2023