;
pengenalan
Kabinet penyalur gas khas direka untuk membekalkan gas mudah terbakar, meletup, menghakis, toksik dan lain-lain gas berbahaya.
Sistem ini boleh dibahagikan kepada kategori: operasi automatik sepenuhnya, separa automatik dan manual.Fungsi asas termasuk pembersihan automatik, pensuisan automatik dan pemotongan keselamatan automatik dalam situasi kecemasan (apabila isyarat penggera yang ditetapkan dicetuskan).
Tangki gas automatik dikawal oleh PLC, skrin sentuh ialah antara muka manusia-mesin, dan sensor tekanan dipasang oleh peranti.
Peranti seperti peranti penyaman udara, injap pneumatik, meter aliran, dsb., menyedari operasi peralatan yang selamat dan berkesan.Fungsi interlock keselamatan pengaturcaraan PLC dalamannya bagi meter dan pemilihan dan susun atur bahagian injap ketulenan tinggi yang munasabah memenuhi keperluan proses pengeluaran proses semikonduktor.
Keperluan untuk bekalan berterusan dan ketulenan tinggi gas khas dalam medium, tetapi juga untuk memastikan pengeluaran normal kilang dan kehidupan peribadi pekerja Keselamatan.